近日，MicroOLED、OLED照明量產(chǎn)所使用的欣奕華 G2蒸鍍設(shè)備樣機宣布完成進一步調(diào)試工作，將于今年內(nèi)推向市場，填補小尺寸OLED蒸鍍設(shè)備的國產(chǎn)化市場空白。

OLED蒸鍍機是生產(chǎn)OLED面板的核心設(shè)備之一，無論時下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8，還是三星GALAXY Quantum，都與它有著脫不開的聯(lián)系。智研咨詢發(fā)布《2020-2026年中國OLED面板行業(yè)市場專項調(diào)研及投資前景分析報告》顯示，2020年OLED市場規(guī)模達到343億美元，單位出貨量增速將在2020年到達頂峰。在OLED技術(shù)借道手機市場全面爆發(fā)的背后，生產(chǎn)OLED面板的關(guān)鍵設(shè)備——OLED蒸鍍機長期被日韓企業(yè)壟斷。如何克服上游核心設(shè)備的缺失，是困擾中國顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的痛點。

OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為LTPS驅(qū)動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數(shù)據(jù)顯示，截止2018年，OLED蒸鍍設(shè)備的主要生產(chǎn)商為日本佳能Tokki，市場占有率達到90%。據(jù)悉，佳能Tokki每年產(chǎn)能的90%均被三星包攬，OLED蒸鍍設(shè)備一機難求已成為了限制國內(nèi)面板廠商擴大OLED產(chǎn)能的重要原因。

以往，三星和LG Display的產(chǎn)線增建導致OLED蒸鍍設(shè)備幾乎被買斷。近幾年，隨著韓國企業(yè)OLED產(chǎn)線的投資滯緩，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機，逐步提升良品率。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達到70%;2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達90%。預(yù)計到2021年，國內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星良品率基本持平。可見，OLED蒸鍍機是制約行業(yè)發(fā)展的瓶頸。

欣奕華自主研發(fā)的國產(chǎn)OLED蒸鍍機正是在這樣的背景下應(yīng)運而生。“我國雖然已成為全球OLED面板生產(chǎn)的主產(chǎn)地之一，但是上游設(shè)備企業(yè)在裝備領(lǐng)域依然集中在中低端和非關(guān)鍵設(shè)備的生產(chǎn)制造階段。”欣奕華智能機器事業(yè)群總經(jīng)理李清生說，“國內(nèi)建了很多OLED產(chǎn)線，但是OLED蒸鍍機在內(nèi)的裝備基本都依賴進口。欣奕華希望能夠抓住機遇，幫助客戶，為中國顯示產(chǎn)業(yè)做出自己的一些貢獻。”

事實上，核心技術(shù)的攻克并不簡單。如果說OLED蒸鍍機是OLED面板制作工藝的心臟，那么OLED蒸發(fā)源相當于心臟的心房。OLED蒸發(fā)源根據(jù)宏觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。為了滿足厚度均一性，點型蒸發(fā)源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時容易出現(xiàn)clogging或噴濺;線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發(fā)源不同位置的有機氣體分子的熱動能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機分子的蒸鍍速率不同，導致鍍膜的厚度均勻性差;更不要提在對玻璃基板各子像素進行鍍膜時，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前都要先對基板進行精密對位，該問題也是導致整個OLED面板良率不足的關(guān)鍵.....這一個個問題都是欣奕華OLED蒸鍍設(shè)備研發(fā)項目團隊必須解決的。

“核心技術(shù)得掌握在我們手中”，欣奕華智能機器事業(yè)群OLED事業(yè)本部負責人曹景博說，“我們努力的目的就是為了解決OLED蒸鍍機研發(fā)中的難題。”經(jīng)過無數(shù)個日日夜夜的研究、探索、實踐，欣奕華研發(fā)團隊最終形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，突破OLED蒸發(fā)源、OLED對位系統(tǒng)等多項關(guān)鍵核心技術(shù)。其自主研發(fā)的OLED點型和線型蒸發(fā)源，已經(jīng)交由客戶驗證通過，成功導入面板龍頭企業(yè)的量產(chǎn)線。

據(jù)了解，佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發(fā)光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內(nèi)。對此，曹景博自豪地說：“欣奕華OLED蒸鍍機對位系統(tǒng)(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度已達到國際先進水平，部分機型甚至做到了國際領(lǐng)先，對位精度可控制在1.5um以內(nèi)。”

據(jù)悉，欣奕華于2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項目，公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機研制潔凈車間，擁有各類先進研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制技術(shù)等方面，相關(guān)技術(shù)水平已達到國際先進水平，正在逐步追趕國外領(lǐng)先OLED設(shè)備制造企業(yè)。

目前，欣奕華自主開發(fā)了第一款國產(chǎn)化G1 OLED蒸鍍機(玻璃基板尺寸200*200mm)，并已通過安徽省新產(chǎn)品鑒定。“該產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求選擇精密對位或機械對位方式，對應(yīng)OLED器件研發(fā)與材料驗證。我們的G1 OLED蒸鍍機通過了上海某高校教育部國家重點實驗室裝備測試，于2017年交付使用。此外，浙江和上海的兩家OLED材料企業(yè)在采購了我們G1 OLED蒸鍍機后，都給予了很高的評價。”曹景博說。據(jù)悉，欣奕華還是國內(nèi)首家開發(fā)出G2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)Cluster蒸鍍機和12寸AR/VR(Wafer直徑300mm)蒸鍍機的企業(yè)，進一步填補了國內(nèi)自主研發(fā)可量產(chǎn)OLED蒸鍍機此種機型的空白。

欣奕華能夠在OLED蒸鍍設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、市場化過程中得以快速發(fā)展，得益于國家層面的高度重視以及對OLED產(chǎn)業(yè)的規(guī)范化引導。特別是《“十二五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中明確提出“加快推進OLED等新一代顯示技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”，一系列相關(guān)政策陸續(xù)出臺，鼓勵和支持OLED設(shè)備、工藝及材料等方面的創(chuàng)新發(fā)展。未來，欣奕華將繼續(xù)扎根泛半導體產(chǎn)業(yè)高端裝備制造領(lǐng)域，為我國OLED面板制造企業(yè)提供國產(chǎn)化高性能的蒸鍍系統(tǒng)，為提升我國顯示產(chǎn)業(yè)上游核心裝備的技術(shù)水平奮斗。

關(guān)鍵詞： 欣奕華